聚焦离子束-扫描电子显微镜-能谱仪系统（FIB-SEM-EDS）招标公告

聚焦离子束-扫描电子显微镜-能谱仪系统（FIB-SEM-EDS）

检测中心

1.设备名称及数量

聚焦离子束-扫描电子显微镜-能谱仪系统壹套

2.设备用途和总体功能要求

扫描电子显微分析在各种材料及器件研究中具有极其的地位，是形貌研究中使用频率最高的设备之一，已成为科研工作不可缺少的常规设备。FIB-SEM双束系统中场发射扫描电镜主要用于观察、分析和记录样品的微观形貌，聚焦离子束用于样品微纳米尺度下的切割、刻蚀，透射样品制备、原子探针针尖加工等工作能谱仪主要用于样品元素分析。

3.技术规格和要求：

备注：“*”表示设备规格的必要条件，必须达到该规格。

3.1离子束及辅助气体注入系统技术要求

3.1.1 离子束系统：

1）离子源种类：液态Ga离子源；

*2）分辨率：≤3.0nm@30kV（统计平均值测量法）；

3）加速电压：0.5kV - 30 kV；

4）束流强度：最小值不高于1pA，最大值不低于65nA；

5) 电子束和离子束交叉点工作距离不大于7mm；

6）离子源寿命：≥1300小时/2600uAh；

7）连续工作时间：Ga离子可至少连续工作72小时才需进行Heating。

3.1.2 辅助气体注入系统：

1）拥有独立的分离式气体注入系统，可重新配置；

*2）具备金属沉积系统，可在离子束、电子束诱导下进行Pt的沉积。

3.1.3 具备束流测量装置。

3.1.4 具备实时观察离子束加工的监控功能。

3.2 电子束

1）电子枪类型：肖特基场发射灯丝；

*2）分辨率：在工作距离 ≤1.0nm@15KV，≤1.6nm@1KV；

3）加速电压：不小于0.4 kV ～30 kV范围；

*4）束流强度：最小值不高于10pA，最大值不低于300nA；

5）最小着陆能量：不高于20V；

6）电子枪寿命：保证至少可使用1年；

7）物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计；

8）全自动光阑系统。

3.3 探测器

1）样品室内配备独立二次电子探测器；

2）极靴内配备探测器(二次电子)；

3）背散射电子探测器；

2）可实现二次电子信号与背散射信号同时且分别成像。

3.4 机械手

1）电脑软件数字化控制针的精确移动，自动控制，无需手柄；

2）四维方向移动（XYZR）；

3）X/Y/Z方向移动精度优于100nm；

4）原位旋转精度正负1度；

3.5 真空系统

1）完全无油真空系统；

2）样品室真空度：不高于6x10-6 mbar。

3.6 样品室及样品台

1）多轴高精度马达样品台：XY方向重复精度不大于2 μm；

2）样品室内红外CCD相机系统；

3）样品室内部尺寸不小于330mm×260mm；

4）样品台X Y 方向移动范围不低于100mm，Z方向移动范围不低于50mm，可绕Z轴旋转任意角度，倾斜角度T 范围不小于-4到70度；

5）换样时间：<3.5分钟。

3.7 冷却水系统

1）要求有空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却SEM镜筒及其它部件；

3.8 系统控制

1）基于Windows 7操作系统的64位图形用户界面，键盘，鼠标，及手动用户界面；

2）图像显示：至少两台24”LCD显示器，分辨率不低于SVGA 1900 x 1200；

3）带有旋钮控制面板键盘、鼠标, 控制样品台的双轴遥感操作系统，可自动调节：电子枪对中、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿等；

4）图像处理器：驻留时间0.025 到25000 μs/pixel；

5） 件格式：TIFF (8, 16 or 24位)，BMP或JPEG格式，单幅或4幅显示；

4.产品配置要求

4.1 场发射电子束/聚焦离子束双束工作站一套

4.2 电镜控制系统一套

4.3 样品室红外CCD相机一套

4.4 极靴内探测器一套

4.5 二次电子探测器一套

4.6背散射电子探测器一套

4.7 无油真空系统一套

4. 8 铂沉积气体一套

4.9 通用样品座一套

4.10 空压机一套

4.11 冷却循环水机一套

4.12 机械手一套

4.13 能谱仪一套

4.14.1探测器：硅漂移SDD电子制冷探头，独立封装FET场效应管，圆型硅漂移晶体, 超薄窗设计。独立真空，仅消耗电能，无需循环水及其他真空泵或风扇制冷，没有震动；

4.14.2*晶体面积：有效面积不小于60 mm2，要求机身铭牌显示；

4.14.3能量分辨率：≤127eV at Mn-Kα；

4.14.4元素测试范围：范围大于4-94号元素；

4.14.5探测器可通过软件控制，实现自动伸缩，无需手摇；

4.14.6谱峰稳定性: 1,000cps 到100,000cps，Mn Ka 峰谱峰漂移小于1eV，48 小时内峰位漂移小于1.5eV；

4.14.7最大输入计数率：不小于800000cps；

4.14.8无漏磁电子陷阱设计，对扫描电镜无任何影响；

4.14.9峰背比：优于20000:1；

4.14.10具备有标样定量分析及无标样定量分析方法; 可以得到归一化和非归一化定量结果；

4.14.11原装进口工作站：CPU i5以上、独立显卡、内存≥8G、硬盘容量≥500GB、DVD 读写光驱、显示器不小于24英寸。

4.14.12支持点扫、线扫、面扫三种扫描方式；

4.14.13三种扫描方式（点、线、面），每种扫描方式下，支持谱峰分离分析；

4.14.14三种扫描方式（点、线、面），每种扫描方式下，支持离线分析，离线情况下可减少或添加元素分析；

4.14.15支持电子束漂移补偿；

4.14.16能谱应用软件基于Windows 7平台，采用多任务设计，可以同时并行数个任务，并支持分屏显示及远程控制；导航器界面设计, 操作简便，界面友好, 并具有中 和英 操作界面，可以自由切换。

5.附件及零配件

5.1耗材：碳导电胶3个（8mm x 100mm）、银导电胶 3盒、样品做标准小样品座 20个、专用镊子 1套；

5.2备用电源；

5.3维修专用工具 1套；

6.技术服务

6.1 设备安装调试

1）在仪器到货前厂家派遣工程师携带专用设备对用户实验室的地面振动和环境杂散磁场进行免费的检测；

2）仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后1周内执行安装调试；

3）仪器的安装调试应在于一个月内完成；

6.2 技术培训：

1）在用户现场对用户为期3天的培训。培训内容包括：仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等；

2）培训时间可针对用户情况延长时间, 除了仪器操作维护培训外, 在仪器到达客户实验室之前安排到技术中心和演示实验室进行预培训；

6.3 保修期：提供12个月免费保修，保修期自验收签字之日起计算；

6.4 维修响应时间：仪器供应方应在12小时内对用户的服务要求做出响应，接到用户维修通知后3个工作日内必须到客户现场；

6.5软件升级：在硬件支持的前提下，应用软件终身免费升级；

6.6 生产厂家在长三角地区具有独资建立的全套技术中心和演示实验室。在用户仪器到货前，可免费到该中心做样，仪器到货后，该中心也免费向用户开放。

7.技术 件

7.1随设备提供设备的操作说明手册、维护手册和服务手册(可电子版)；

7.2设备安装条件及实验室条件说明。

8.包装要求及运输方式

8.1包装要求：应使用崭新坚固之木箱（标准出口包装），适合于空运、陆运等长途运输方式；适合气候变化；抗震、防潮、防雨、防锈、防冻。投标商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、锈蚀、费用增长等后果负责。

8.2运输方式：空运

9.交货日期：合同签订后6个月

电话

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