特气｜默克携手美光开发低 GWP 替代性蚀刻气体

默克宣布携手美光科技联手开发用于半导体制程，能降低全球暖化潜势 (global warming potential，GWP）的气体解决方案。经过一年的持续合作，美光科技目前正在测试默克研发部门提供的低 GWP 替代性蚀刻气体，以验证其制程性能，进而取代传统的高 GWP 材料。目标是「在半导体制程中导入全新且更具永续性的气体解决方案」。

默克集团执行董事暨电子科技事业体执行长 Kai Beckmann 表示，永续发展仰赖整个产业的同心协力，而不是单一企业的孤军奋战，也无法限缩于单一公司的范畴之内，需要整个半导体产业链的携手合作，一同发展更新颖的解决方案，以实现更大规模的永续目标。与默克一样，美光科技也设定了远大的永续发展目标，默克很荣幸能够为实现这个目标贡献我们的能力。

美光科技营运中心团队和采购企业副总裁 John Whitman 说，「我们的新目标是相较于 2020 年，在 2030 年将减少 42% 的全球营运所造成的碳排放。为此，美光采取了多项措施以实现凈零碳排的营运承诺，包括投资先进的减排系统、优先使用全球暖化潜势较低的气体、外购节能设备、以及可再生能源取代石化能源等。我们也很高兴在默克的帮助之下，以创新合作达到永续目标。」

长久以来，默克与美光科技建立了互相信赖的事业伙伴关系，而本次降低全球暖化潜势气体的合作更为双方的永续合作迈出了第一步。两家公司皆致力于发掘有助实现永续发展目标的新颖材料，以取代现行应用于干蚀刻与光罩清洗制程的多种高暖化潜势的蚀刻气体。

全球显示面板用电子特气行业 分析 告目录

第一章 电子气体产业概述

一、 电子气体行业基本介绍

1. 电子气体概念界定

2. 电子气体产品分类

3. 电子气体相关技术要求

4. 电子气体相关制造工艺

二、 电子气体行业产业链分析

1. 电子气体产业链结构

2. 电子特气产业链企业图谱

第二章 显示面板行业用电子特气概述

一、 电子特气行业基本介绍

1. 电子特气概念

2. 电子特气分类

3. 主要电子特气产品说明

二、 显示面板用电子特气概述

1. a-Si显示面板行业用电子特气种类

2. Oxide显示面板行业用电子特气种类

3. LTPS显示面板行业用电子特气种类

4. OLED显示面板行业用电子特气种类

三、 2016-2025全球显示面板电子特气市场规模与趋势

1. 2016~2025年全球a-Si显示面板电子特气市场规模与趋势

2. 2016~2025年全球Oxide显示面板电子特气市场规模与趋势

3. 2016~2025年全球LTPS显示面板电子特气市场规模与趋势

4. 2016~2025年全球OLED显示面板电子特气市场规模与趋势

四、 2016-2025中国显示面板电子特气市场规模与趋势

1. 2016~2025年中国a-Si显示面板电子特气市场规模与趋势

2. 2016~2025年中国Oxide显示面板电子特气市场规模与趋势

3. 2016~2025年中国LTPS显示面板电子特气市场规模与趋势

4. 2016~2025年中国OLED显示面板电子特气市场规模与趋势

第三章 中国显示面板用电子特气市场竞争格局分析

一、 中国显示面板用电子特气生产厂商分析

1. 国内外电子特气重点企业名册

2. 中国显示面板用电子特气核心企业分析

2.1 中船重工718所

2.2 黎明院

2.3 金宏气体

2.4 科利德

2.5 南大光电

2.6 河南硅烷

2.7 绿菱电子

2.8 华特气体

2.9 中炬芯

2.10 其他

二、 中国显示面板用电子特气市场竞争格局分析

1. 各类电子特气国产化情况分析

2. 电子特气供应链市场竞争格局分析

第四章 建议与对策

一、 产业机遇与相关建议

二、 产业挑战与相关建议

三、 其他

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