15种电子特气入选2018版《重点新材料首批次应用示范指导目录》

材料名称

性能要求

应用领域

特种气体

高纯氯气:纯度≥99.999%，H2O≤1.0ppm，CO2≤2.0ppmv，CO≤1.5ppmv，O2≤1.0ppmv，CH4≤0.1ppmv; 三氯氢硅:纯度≥99.99%，一氯甲烷含量<10ppm，二氯氢硅含量≤100ppm，四氯化硅含量≤100ppm，铁含量≤30ppb，镍含量 ≤2ppb; 锗烷:纯度≥99.999%，H2<50ppmv，O2+Ar≤2ppmv;N2≤2ppmv，CO≤1ppmv;CO2≤1ppmv;CH4≤1ppmv;H2O≤3ppm; 氯化氢、氧化亚氮纯度≥99.999%;氧硫化碳、乙硼烷纯度≥99.99%;砷烷、磷烷、硅烷纯度≥99.9999%;

集成电路、新型显示

二氯二氢硅:纯度≥99.99%，四氯化硅≤50ppm，三氯氢硅≤100ppm;B≤10ppt，P≤10ppt;

高纯三氯化硼:纯度:99.999%;N2≦4;CO≦0.5;O2≦1;CH4≦1;H2O≦1;CO2≦2;

六氯乙硅烷:纯度≥99.5%，四氯化硅≤300ppm，六氯氧硅烷≤500ppm，三氯氢硅≤100ppm，Al≤10ppt，Ti≤10ppt;

四氯化硅:纯度≥99.99%，三氯氢硅≤50ppm，二氯二氢硅≤100ppm;Fe≤2ppt，Ni≤0.1ppm, B≤20ppt，P≤20ppt。