炜盛科技：基于微纳米材料的MEMS气体和柔性压力传感器

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科技

德国2019传感器测试测量展览会

6月25-27日

德国时间6月26日，应德国2019传感器测试测量展览会主办方邀约，汉威科技集团传感事业群炜盛科技公司作为中国传感器厂商代表之一由汉威科技集团首席专家兼总工程师张小水先生、集团副总裁兼传感事业群苏州能斯达总经理周震及炜盛科技常务副总经理古瑞琴共同带队参展，炜盛科技常务副总经理古瑞琴应邀在“传感器行业新产品及新应用”新品发布会上发表演讲！

以下是炜盛科技古瑞琴女士发表的专题《基于微纳米材料的MEMS气体和柔性压力传感器》内容提炼：

古瑞琴女士在英 专题 告中分别向在座各位介绍了炜盛科技公司近几年在MEMS领域的研究成果以及传感事业群苏州能斯达在柔性压力传感器方向的最新应用。

一、基于微纳米材料的MEMS气体传感器

基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)的气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测，但其功耗往往较高约300-800mW，不易实现大规模布设，而MEMS气体传感器的功耗低于60mW，为气体传感器的集成化、系统化提供了坚实的基础。

MEMS微气体传感器微热板的制作工艺特点在于将隔离层、加热电极、绝缘层、测试电极和敏感材料一层一层依次堆积叠加在一起，形成典型的三明治结构。

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制备工艺——微热板工艺

炜盛科技目前已研发并投放于市场的几款MEMS传感器中，作为典型代表的MEMS VOC气体传感器GM-502B，具有灵敏度高 响应恢复快速 抗震性好 功耗低 可用电池供电 贴片焊接等的产品优势，在智能家居、车载系统、智能手机，室内外空气质量监测等领域应用广泛。

MEMS GM-502B产品图

另外也已研发出多款测试不同气体种类及应用于不同场景的MEMS传感器新产品。

二、基于微纳米材料的柔性压力传感器

纳米柔性压力传感器是基于纳米智能材料和仿生感知能力的柔性智能感知器件，采用了先进的纳米技术、柔性电子学技术、印刷电子技术等前沿技术，通过纳米尺度、界面、结构设计实现微纳传感器仿生感知能力的增强。

作为柔性微压力传感器的代表产品之一CP103，以其超高灵敏度的特性，可检测脉搏、心率、血压等生理信号；可应用在可穿戴设备、人机交互、仿生皮肤、医疗电子设备等产品上，在消费电子、医疗电子、智能机器人等领域具有广泛的应用前景。

典型特点：超薄-厚度小于0.3mm 超高灵敏度 响应速度快 低功耗 检测范围宽 生物相容性好

在此次专题会上，古瑞琴女士不仅对最新MEMS及柔性压力传感器新品做了详细分享，更对未来整个传感器领域的发展表达了自己的看法。

传感器行业已经进入了一个新的时代， 络传感器、生物传感器、纳米传感器等更尖端的传感器已进入我们的生活。相信在未来的发展中，传感器产品在性能上皆会向检测量程宽、检测精度高、抗干扰能力强、性能稳定、寿命长久方向发展；在结构上皆会向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展；在敏感材料上皆会向纳米尺寸方向发展。

今后，随着CAD技术、MEMS技术、信息理论及数据分析算法的继续向前发展，未来的传感器系统必将变得更加微型化、综合化、多功能化、智能化和系统化。

而炜盛科技作为中国传感器领域的一员，在未来的发展中一定会继续创新，不仅在国内市场中保持优势，更会进一步在国际市场稳步拓展。