随着国内半导体及光伏行业的快速发展，昨天中芯国际不就上市了嘛，半导体等行业对于高纯气体尤其是高纯特种气体的需求量及气体质量要求越来越高。而特种气体大都具有有毒、易燃易爆、高腐蚀性、高氧化性等性质，如H2Se、SIH4、CL2、NF3等。因此能安全、稳定、可靠地贮存和输送特种气体的特气系统，越来越受到企业重视。
所以特种气体系统工程在使用、设计和施工中的常用规范术语，大家可以了解一下。
1 特种气体 specialily gas
用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2 特种气体系统 speciality gas system
特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
3 特种气体间 speciality gas room
是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
4 硅烷站 silane station
是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
5 明火地点 open flame site
室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
6 散发火花地点 sparking site
散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
7 空瓶 empty cylinder
留有残余压力的气体钢瓶。
8 实瓶 full cylinder
存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
9 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders
用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。气瓶的个数分别为9个、12个、16个不等，单个气瓶的水容积通常为40~50L。
10 气瓶柜 gas cabinet (GC)
特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故 警、、压力监测及 警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。
11 气瓶架 gas rack (GR)
特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及 警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。
12 阀门箱 valve manifold box (VMB)
特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配部件，VMB在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管可根据需要设置调压阀。VMB需设置泄漏气体排气管接口和风压事故 警。
13 阀门盘 valve manifold panel (VMP)
特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配部件，VMP在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应配置手动阀、压力表、过滤器等组件，VMP各支管可根据需要设置调压阀。
14 低蒸汽压力气体 low vapor pressure gas
在室温下的饱和蒸气压小于0.2MPa的气体。
15 卧式气瓶 y-cylinder/t-cylinder
用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为500L，1000L。
16 限流孔板 restrict flow orifice(RFO)
限定系统最大流量的一种装置。
17 过流开关 excess flow switch(EFS)
流量超出设定值时，给出开关信号。
18 吹扫 purge
用氮气和氩气对特种气体系统内的其它气体进行置换的过程。
19 排气 vent
特种气体设备与系统中排出的本质气体。
20 尾气处理装置 local scrubber
用于处理易燃、易爆、有毒、有腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的装置，处理后的尾气达到规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。
21 气体探测系统 gas detector system(GDS)
设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘、及其它特种气体输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空气中的含量来判断本质气体的泄漏，从而发出声光 警信号、提供应急处理数据的系统。
22 气体管理系统 gas management system(GMS)
包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据输送与处理系统的气体管理与控制系统的统称。
23 最高允许浓度值 threshold limit value(TLV)
工作环境空气中有害物质的最高允许浓度值。
24 爆炸浓度下限值 low explosion limit(LEL)
可燃气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值。
上面列举了一些常用的术语，如果对特气系统有兴趣的，可以评论区留言。随着半导体集成电路、光伏等行业的国内外市场需求扩大，特气的用量会进一步扩大，对特气的品质要求也会越来越高。特气输送系统安全稳定运行是企业今后发展不能忽视的环节。在特气输送系统进行设计时，要全面考虑安全问题，尽量实现设备自动化，减少人工操作。在特气输送系统构建时，做到严格按照安装要求进行施工管理，特气设备运行后，进行有效的运行管理，特气泄漏风险将能极大地降低。
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