里水陈艳珊：持之以恒做研究，追求特种气体的最高纯度

近日，南海举行2021年南海大城工匠命名大会。今年自《举匠令》发布以来，经过广泛自荐推荐、专家初审、面试复审、社会公示等环节，30位南海大城工匠从近300名 名者中脱颖而出。其中，里水有5人获评该称号。

他们有的是坚守模具行业16年，用心做好产品的车间经理，有的是参与制定30多项国际、国家、行业标准，带领团队荣获46项专利的气体研发匠人，有的是26年钻研饰面人造板制造，让高端饰面人造板不再依赖进口的企业家，有的是专注中医药事业27年，开发100多个中药健康产品的健康产品研究者，有的是在SPA浴缸制造细分领域做到最好最强的技术骨干……他们身上都有着“执着专注、精益求精、一丝不苟、追求卓越”的工匠精神。

持之以恒做研究

追求特种气体的最高纯度

陈艳珊

广东华特气体股份有限公司研发中心副主任

陈艳珊。

10年前，陈艳珊毅然迈入 “特种气体”行业，开始了一段“极致气质”的追梦之旅—— “实验室”在枯燥的试验中，她用最美芳华寻找99.9995%的特种气体至纯高度，打破国外气体行业垄断，助力公司实现了国内同类产品的进口替代，以精益求精、持续创新收获甘甜成长。

2010年，陈艳珊毕业进入华特气体公司，当时公司正在深入研发六氟乙烷。在全程参与研发的过程中，陈艳珊跟随广东华特气体股份有限公司的总经理，第一届南海大城工匠傅铸红学习，一心扑在工作上，进气、出气、看数据，查资料，整整2年，仅钢瓶处理对比的数据就有上千组，重复而枯燥的实验很容易让人厌倦，但是她认为，只要目标明确，方向精准，就没有不往前跑的道理。

六氟乙烷是生产8寸及8寸以上半导体集成电路的必需材料，过去全部依赖进口。2012年，六氟乙烷开始量产，但是华特气体对纯度的要求始终没有停止。陈艳珊介绍，随着下游企业高精尖设备的精准度与日俱增，他们所需要的气体的纯度就要更高。目前，高纯六氟乙烷的纯度从99.9%提升至99.9995%，并保持长期高度稳定，此项技术打破了国外气体公司的垄断，这一成就让华特气体成为特种气体行业当之无愧行业龙头。

手机芯片上的线槽，宽度是头发丝的几千分之一，只能靠气体激光或电离产生的能量去加工，一部手机可能要用到华特气体生产五六十种气体……“你能研发出高纯气体之外，还需要有设备能检测出这种纯度。”陈艳珊介绍，公司曾在研发一种气体时，要对一种杂质进行定性，但是在国内找不到可以检测的机构，导致项目搁置了几个月，但是他们并没有放弃，直至找到一家国外检测机构能够完成该杂质的定性和定量。

近几年，华特气体保持着每年研发推出2-3种新气体的节奏。2020年，陈艳珊作为主要研发人员研发的“一种氨气的纯化系统”和“一种三氟甲烷纯化装置及纯化方法”两个专利，分别摘得了第七届广东专利奖金奖、第二十一届中国专利优秀奖。

陈艳珊坦言，现在华特气体需要突破的研发难题很多都是存在一定毒性或特别不稳定的气体，这让研发的难度越发大了。“光是研发出来不行，必须要保证稳定，不能是偶尔的稳定，是需要长期放在钢瓶中还能保持稳定。”陈艳珊说，目前公司研发的气体可供借鉴的参考资料极其有限，创新是必然之路。

经过近二十年的发展，华特气体母公司共有有效专利79件，其中包括发明专利16件，实用新型62件，外观设计1件。承担了国家重大科技专项中的《高纯三氟甲烷的研发与中试》课题等重点科研项目。