普发涡轮分子泵 HiPace 80

涡轮分子泵 HiPace 80 特性

稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统

结构紧凑, 满足更小的安装空间要求

分子泵高气流量和高抽速

基本款任意角度安装

防护等级 IP 54, 符合工业环境要求

可应用于腐蚀性气体工艺

分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证

涡轮分子泵 HiPace 80 技术参数

型号HiPace 80 TC 110

DN 63 ISO-KHiPace 80 TC 110

DN 63 CF-FHiPace 80 TC 110

DN 40 ISO-KF

图片

Ar 压缩比1X10111X10111X1011

H2 压缩比1.4X1051.4X1051.4X105

He 压缩比1.3X1071.3X1071.3X107

N2 压缩比1X10111X10111X1011

N2 最大预抽真空 hPa222222

Ar 全转速时气体流量 hPa l/s0.540.540.54

H2 全转速时气体流量 hPa l/s15.315.315.3

He 全转速时气体流量 hPa l/s2.72.72.7

N2 全转速时气体流量 hPa l/s1.31.31.3

操作电压 V DC242424

最大电流 A4.64.64.6

允许最大磁场 mT3.83.83.8

Ar 抽速l/s666630

H2 抽速l/s483838

He 抽速 l/s585841

N2 抽速l/s676735

转速 ± 2 % rpm900009000090000

启动时间 min1.71.71.7

极限真空 hPa< 1X10-7< 5X10-10< 1X10-7

重量 kg2.43.82.4

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80 套装:

完整的分子泵套装供您选择, 包含一台 HiPace 80 分子泵主机和控制电源等, 分子泵套装满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套装内配置如下:

分子泵分子泵电源与控制器连接线风扇OmniControl 200接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m

接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m

分子泵应用 HiPace 80

分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析

半导体: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks

工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造

研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术

分子泵应用一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.

涡轮分子泵 HiPace 80 目前在售型号：

分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 40 ISO-F

分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 40 ISO-KF

分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 40 ISO-KF

分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 40 ISO-KF

分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 40 ISO-KF

分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 40 ISO-KF

分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 40 ISO-KF