设计一个半导体检测实验室这些问题要注意

设计一个半导体检测实验室这些问题要注意，半导体照明是一个方兴未艾的行业。随着化合物半导体市场的扩大，对特殊气体的需求不断增加，外延生长需要大量超纯源和工艺气体。目前，台湾省和日本的化合物半导体市场份额很高。近年来，中国和韩国的发展势头强劲，北美和欧洲的市场份额也有所增加。半导体工艺中使用的特殊气体，由于种类繁多，质量要求严格，对生产、充装、运输、储存都有技术和安全要求，需要多方面的积累。所以目前国内市场大，供给能力小。

实验室建造单位科艺普承接各领域实验室工程项目（实验室建设前期咨询，实验室升级改造，实验室设计规划，实验室装修装饰，实验室通风系统等），实验室整体改造设计施工一体化解决方案。

半导体工业用气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：

1、硅族气体：含硅基的硅烷类，如硅烷、二氯二氢硅、乙硅烷等。

2、掺杂气体：含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷等。

3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如氯气、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷等。

4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。

5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、三甲基镓等。

一、半导体检测实验室工作流程设计

实验室工作流程优化与实验室整体与局部的布局相关，同时与实验室的硬件与软件条件也有着密切联系。除了布局的优化和仪器设备的摆放位置的设计外，可以采用一些先进的实验室管理软件，协助实验室工作人员优化实验过程，从而达到提高工作效率，减少实验过程中人为因素对实验结果的影响。

另外，完善的实验室管理制度，也是影响实验室工作流程的重要因素。

二、半导体检测实验室配电系统设计

实验室的配电系统是根据实验仪器和设备的具体要求，经过专业的设计人员综合多方面因素设计完成的，与普通建筑有很大区别。因为，实验室仪器设备对电路的要求比较复杂，并不是通常人们所认为的那样，只要满足Z大电压和Z大功率的要求就可以了。事实上有很多仪器设备对电路都有特殊的要求。

我们在工程建设的过程中发现，大部分用户在实验室设计建设初期，都没有充分考虑到实验室用电的特殊要求，甚至有的用户和设计单位认为实验室的用电量与一般的办公室类似。这样给后期实验室的运行带来了很大的麻烦。

对配电系统的设计，不但要考虑现有的仪器设备情况，同时也要考虑实验室几年的发展规划。充分考虑配电系统的预留问题及日后的电路维护等问题。

三、半导体检测实验室空调系统设计

通用实验室的夏季空气调节室内计算参数为：温度26～28℃，相对湿度小于65%。专用实验室的空气调节室内计算参数应按工艺要求确定。空调系统的主要作用是控制实验室的温湿度。空调系统与实验室通风系统配合，才能真正有效地保证实验室的温湿度和房间压力的有效控制。总之，实验室对空调系统的要求，有别于普通办公室或公共区域的空调系统，有其特殊性。