氦质谱检漏仪真空泵真空度降低是什么原因，如何调节?

氦质谱检漏仪需要在真空环境中进行，需要使用真空泵组才能获得所需的真空环境。

真空泵真空度低的原因：

一、真空泵本身漏气

1、密封圈漏气。应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈；

2、气镇阀垫圈损坏，或未拧紧。应更换垫圈并拧紧气镇阀；

3、排气阀片损坏，密封不好，应更换气阀片；

4、真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。应修整真空泵腔或更换；

5、由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。应拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。

二、真空泵油有问题

1、油位过低，应加足油量到油标中心线；

2、油被沾污，油质变坏。应更换新油；

3、油的牌号不符，应换规定牌号的真空泵油

4、油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。应检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通；

5、进气口的过滤 被堵塞。应取下过滤 清洗干净，再装上去；

6、转子的弹簧变形或折断及旋片动作不灵。应整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好；

7、真空泵温太高，

1）被抽气体温度过高。应让气体冷却后再进入真空泵内

2）吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换，

3）真空泵冷却水流不够。应加大冷却水流量，

4）装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。

8、因加工不良或磨损造成配合间隙过大。应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。

9、真空泵运转中摩擦发热.温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。应通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。

真空泵真空度的调节：

很多微型真空泵的本身是没调节真空度的功能的，只有通过加阀门的方式调节。比如在泵的抽气端串一个精密泄压阀，当真空度较高时，把阀门打开，真空度就降下来了。这种精泄压阀还有有定向排放有毒的气体等，到指定容器的通道，这是很多阀门没有的功能。可以用智能真空泵，泵的上面有按钮，可以设定负压，还有液晶面板显示负压。另外还有一个旋钮，可以调节流量的大、小。这种智能真空泵又称交流电真空泵，数显真空泵。

氦质谱检漏仪如何助力真空泵的真空度？

真空系统、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊缝、机械连接处存在孔洞、裂纹或间隙等缺陷，外部大气通过这些缺陷进入系统内部，致使系统、容器或器件达不到预期的真空度，这种现象称为漏气。造成漏气的缺陷称为漏孔。漏孔尺寸微小、形状复杂，无法用几何尺寸表示，因此在真空技术中用漏率来表示漏孔的大小。漏率是指单位时间内漏入系统的气体量，其单位为帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。

1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

漏率的大小需进行校准后方能确定。一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。 检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。对一定的容器进行足够长时间的抽气后，容器压力不再变化，这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等，即puSe=qL+q0，式中pu为容器的极限压力，Se为容器排气口处的有效抽气速率，qL和q0分别为容器的漏气量和放气量。如放气量少到可以不计，则平衡式变为puSe=qL，或pu=qL/Se。这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。如抽气速率一定(常数)，要得到低的极限压力便应降低漏气量，检漏便是关键的措施。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率(在规定的条件下气体流过漏孔的流量)来表示。漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。为便于检漏和易于检测出漏孔的位置，一般尽可能缩小检测的面积范围，所以先侧重于对零部件的检漏。零部件经过严格的检漏，组装后就可避免漏气。

大型复杂系统的氦质谱检漏历来是劳动强度大、专业素质要求高、耗时长而繁琐的任务，某些应用领域对检漏结果的准确性要求也很高。由于大型真空系统的响应时间长，所需持续施氦并监测的时间往往很长。为了实现漏孔的快速准确检测，需采用一种既不影响检漏灵敏度，又能缩短检漏时间、提高检漏效率的方法。

好了，以上就是有关于氦质谱检漏仪将如何解决真空泵真空度降低的问题解答，相信大家对于氦质谱检漏仪也有了更深的了解。