前言
2016年环保部对外合作中心举办了第二届环保技术国际智汇平台百强环保技术评选，向全球征集了大气、水、土壤（含固废）污染防治技术，经权威专家对技术的先进性、实用性、经济性、成熟度等评审，筛选出了一批国内外先进实用技术，并授予“环保技术国际智汇平台百强技术”称号。智汇平台将通过 站、微信等线上途径对百强技术进行展示，并利用智汇平台线下基地、战略合作伙伴、南南环保技术与产业合作伙伴关系在国际和国内市场示范、推广和应用，促进国内外环保技术交流合作，推动环保技术“引进来、走出去”和产业化发展。
百强技术
展示
半导体/LCD行业用有害气体处理 无火焰催化氧化设备
01
产业背景
随着半导体行业发展迅速，其工艺尾气处理也带来了一系列问题，传统的处理方式，已无法满足越来越严格的环保要求，半导体产业中目前最为继续处理的难题为全氟化何物气体以及氮氧化物的排放，既要稳定处理全氟化何物气体也要抑制氮氧化物的生成。
02
技术概述
FCTO是将有机、无机化合物在高温触媒环境下氧化为无害的二氧化碳，水蒸气或其他酸性气体的系统。对有机化合物具有完全分解剂极高的处理效率，因使用高温加热棒及触媒，无明火火焰，降低氮氧化物的生成，提高处理效率，不受气体浓度变化影响，热稳定性优秀，且无二次污染引发的恶臭问题。
03
技术优势
此项技术利用触媒在使用最少能耗的情况下维持对PFC气体极高的处理效率，且因是无火焰方式，最大的遏制NOx的生成，相比既有方式的设备，技术上有着很大的跨越。
04
适用范围
有毒可燃性、腐蚀性、爆炸性气体处理；可处理半导体及液晶面板行业内蒸镀或刻蚀等工艺中使用的有毒及可燃性气体及一般产业中排放的挥发性有机废气。
05
应用案例
“S”半导体 CVD工艺 无火焰高温催化氧化设备(FCTO700W)供货
应用工序: CVD工艺
供应设备: FCTO700W
处理方式: 无火焰高温催化氧化设备
处理量: 单台700slm
供货数量: 累计201台(截止2016年11月28日)
运营时间: 2014年12月15日至今
06
单位信息
MAT Plus Co.，Ltd
公司生产产品主要针对半导体，液晶面板，LED等行业中的有毒，有害，爆炸性气体的处理，处理效率均保证99.9%以上。废气处理设备目前已在全球的半导体大厂；三星液晶面板，海力士半导体，格罗方德，英飞凌，国内有华虹宏力，中航微电子，华润上华等使用，总销售数量为3000多台，且近期最新研发成功的无火焰催化氧化设备（FCTO）从2014年下半年开始持续向三星半导体供货，成为其设备主要供货商。
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