炜盛科技发布一款MEMS空气质量传感器

4月22日消息，炜盛科技正式对外发布全新产品：GM-502B MEMS空气质量传感器，这是一款超小型、低功耗的空气质量传感器，主要利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当传感器所处存在气体环境中时，传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

产品实图

产品特点：MEMS工艺，结构坚固抗震、体积小、功耗低、可靠性高、易于集成等优点。

检测气体：

1.乙醇（C2H5OH）： 1 – 500ppm

2.甲醛（CH2O)：1-100ppm

3.甲苯（C7H8 ）：1 – 500ppm

主要应用：

适用于室内空气质量监测、智能手机、笔记本电脑、可穿戴、汽车电子、智能家居等消费类电子产品应用检测空气质量。

灵敏度特性：

技术指标：

传感器结构示意图：

推荐电路：

使用说明：

1.预热时间：传感器需要时间达到内部的化学平衡所以需要一定的预热时间。一般来说，传感器在比较高的温度下会 更快的达到平衡，所以可以在最初开机的几十秒，可以给传感器更高的电压来预热。如C2H50H传感器一 般工作在50mW，可以在最初30秒内利用80mW来加热。总的来讲，预热时间越长则传感器精度越好。

2.传感器标定：对于绝对浓度测量，很多因素会影响到传感器的精度如传感器之间的基准电阻差异，灵敏度差异，温度， 湿度，干扰气体，老化时间等,因此需要定期标定。对于相对测量则不需要标定。因为传感器的特性曲线 是非线性的，所以推荐在全量程内进行多点标定并考虑温度和湿度的影响。当标定数据得到后，可以利用多项式或线性拟合来对数据进行整理。