三星二氧化碳又泄露了，电子气体你了解多少？

韩国警方透露，三星电子的一座芯片工厂日前发生有毒气体泄露，导致一名工人死亡、两人受伤。这起事故发生在当地时间周二下午3点40分，地点位于装有灭火设备的地下室。据称，从设备中泄露的二氧化碳导致了这起事故。三星曾在2014年3月发生过类似的事故。当时，一名50多岁的派遣工在京畿道水原市的三星研发中心死亡，原因也是二氧化碳泄露。

在半导体制造中，电子级（高纯）二氧化碳用于氧化、扩散，化学气相淀积，超临界清洗气体等领域。普通的二氧化碳里面会有水蒸气、空气、少许颗粒类杂质，纯度上视工业产品需求不同一般在90.0%-99.99%。电子级二氧化碳纯度相对来说高很多，一般>99.999%。

随着集成电路（IC）、发光二极管（LED）、太阳能电池（SOLAR CELL）、光导纤维（Light-guide Fiber）等高新技术领域迅猛发展。包括超高纯（电子级）二氧化碳在内的电子气体应用空间越来越广泛。经过多年的努力，我国在电子特气领域的空白不断填补，和国外发达国家的差距也不断在缩小。今天小编就来说说电子气体。

高纯氨

IC、LED、光伏太阳能制造等领域曾是高纯氨传统的市场，也是因为光伏太阳能的极大拉动，我国高纯氨产业化技术水平有了长足的进步和提升。我国高纯氨生产已经处于饱和状态，而与之相反的是太阳能公司大多处于停产或半停产状态，高纯氨价格不断地下滑。近几年，受到TFT-LCD行业的拉动，市场稍有转机。

高纯笑气

高纯笑气是IC、TFT-LCD、LED重要的源性材料，国内气体公司用回收的尼龙单体生产尾气提纯工艺生产高纯笑气，该技术的成功开发使得国内高纯笑气供应增加，价格随之急剧下滑，缓解了我国高纯笑气价格长期以来居高不下的状况。

高纯氯化氢

高纯电子级氯化氢是电子工业清洗工艺用量比较大的气体，长期以来我国一直从日本曹达和德国巴斯夫等公司进口。目前我国除华宇同方（淄博、潍坊基地）外，还有其他单位对氯化氢的回收、提纯感兴趣，浙江巨化兰溪厂、山东威森格化工都已经生产瓶装无水氯化氢对外销售，他们的最终目标是实现高纯氯化氢的国产化。

砷烷

由于砷烷是制造半导体化合物砷化镓的重要材料，迄今为止尚无砷烷代用品。多年来国外一直对我国进口砷烷进行管制及禁运，所以，生产出中国制造的高纯砷烷意义重大并十分迫切。由于砷烷及其含砷化合物（气固液）均属剧毒品，含砷化合物处于政府高度管控下，所以没有满足国家生产许可，缺少任何一项资质都不能开展此类工作。

高纯氯气

TFT-LCD工艺需要大量的高纯氯气，氯气为剧毒化学品，从纯化的角度看，氯气的提纯比氯化氢等气体要简单的多，两个精馏塔即可完成。氯气原料十分便宜，有条件的氯碱厂若有实力开展氯气提纯研究，无疑事半功倍，这样可避免办证的繁琐及公用工程的费用。 中昊光明化工研究设计院在“七五”期间就开展了氯气提纯研究，通过吸附技术可以深度脱除氯气中的H2O、CO2等典型的杂质，通过冷凝分离脱除不凝气体N2、O2、H2、CO、CH4杂质，大规模生产采用“脱轻—脱重”的两塔精馏净化，生产高纯氯气是可行的。

高纯硅烷

多年来一直处于热点的硅烷气体，因为我国河南首山硅烷的问世，似乎变得平静下来。国产硅烷的平稳生产，让许多进口硅烷失去了以往的优势。