氦质谱检漏仪入口压力与显示值的关系研究

中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式， 其次通过试验验证了该表达式的正确性。与此同时， 提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法。研究结果表明: 检漏仪的入口压力与显示值是线性关系；当温度和测试气体的浓度一定时，，该线性关系的斜率是检漏仪的本质属性， 只与检漏仪自身的参数有关。

航天器的密封性能是评价航天器质量高低的一个重要参数。在航天器的制造和装配过程中，所做的密封性能测试一般包括单点的漏率测试以及总漏率测试。对于单点漏率测试， 现在所采用的方法往往都是吸枪法，因此研究吸枪法具有极其重要的工程实际意义。吸枪法检漏的示意图如图1 所示，具体的操作过程是: 将被测物内充入规定压力的氦气，用特制的吸枪( 如限流的针阀、膜孔或毛细管) 在被测物外进行探索，见图1。若被测物存在漏孔，氦气将通过漏孔向外逸出。当吸枪正对漏孔位置时，氦气随同周围空气一起被吸枪吸入到检漏仪中而产生输出指示，从而达到检漏目的。

1、氦质谱检漏仪的原理简介

结论

(1) 当所测气体的浓度和温度固定时，检漏仪的入口压力与显示值是线性关系; 且该线性关系的斜率是检漏仪的本质属性，只与检漏仪自身的参数有关。

(2) 通过调节检漏仪的入口压力来调节进入检漏仪的氦气量，从而可以测试检漏仪的线性，这就为测试检漏仪的线性提供了一种廉价而方便的方法。