特气管道设计安装方案

?一. SiH4气体管道技术要求

SiH4管道采用双套管连接方式，内管使用SS316L EP（电子抛光）不锈钢管，外管采用SS316LBA不锈钢管，三通采用成品双套三通，弯头为套管自动焊接，内外管道连接采用自动轨道氩弧焊；设备、阀门无法兰、卡套或螺纹连接；

不锈钢管应采用氩弧焊，为防止管道内壁产生氧化膜及尘埃粒子侵入，应通入经0.01μm～0.03μm过滤器过滤的洁净氩气作保护；管道连接暂停施工时，应充氮气保护，管头应用塑料管帽封堵；

管道系统试压规定及要求

1) 强度实验：实验压力0.6Mpa，实验介质为高纯氮气，10min内压力不降为合格；

2) 严密性实验：实验压力0.5Mpa，实验介质为高纯氮气，实验时间30min，压力不降为合格；

3) 氦检测试：试验介质为高纯氦气，泄露率1*10-9 atm.cc/sec

二. NH3气体管道技术要求

NH3管道采用SS316L EP（电子抛光）不锈钢管,三通采用成品三通，大于1/2”弯头采用成品弯头，小于1/2”弯头采用弯管器施工，管道连接采用自动轨道氩弧焊；设备、阀门无法兰、卡套或螺纹连接；管道全程恒温伴热；

不锈钢管应采用氩弧焊，为防止管道内壁产生氧化膜及尘埃粒子侵入，应通入经0.01μm～0.03μm过滤器过滤的洁净氩气作保护；管道连接暂停施工时，应充氮气保护，管头应用塑料管帽封堵；

3．管道系统试压规定及要求

1) 强度实验：实验压力0.6Mpa，实验介质为高纯氮气，10min内压力不降为合格；

2) 严密性实验：实验压力0.5Mpa，实验介质为高纯氮气，实验时间30min，压力不降为合格；

3) 氦检测试：试验介质为高纯氦气，泄露率1*10-9 atm.cc/sec

深圳市盖斯帕克气体应用技术有限公司成立十年，是一家专业从事气体应用系统工程、电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、大宗气体系统、高纯气体及特种工艺气体二次配管系统等全套工程技术服务和配套产品于一体的高新技术企业。

工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、新材料、新能源、光纤、精细化工、生物医药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业。为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案，逐步成为中国知名的整体系统供应商。

公司拥有专业的设计、研发、工程及技术施工人员。公司产品拥有多项国家专利及特气系统施工资质，严格执行国际特气安装标准。历经13年的行业技术积累，公司的特气系统和施工团队在市场上赢得了客户的一致认可，与多家企业高校建立良好的合作关系，坚持为用户提供安全有保障的集中供气系统。

公司凭着“安全生产施工、用户安全用气”的发展宗旨和“追求质量、永无止境”的质量方针及“科技进步、以质取胜、优质服务”的经营理念，坚持“开拓、进取、创新、求实、拼搏”的企业精神及灵活多样的经营体制，紧跟市场需求，放眼全球，诚信经营，科技创新，为中国企业做好特种气体供应系统，让中国企业创新更上一层楼。