氨是气体氮化中的氮源。可以使用离解的氨气（75％的氢，25％的氮）或100％的氮来控制离解速率或氮化势。而且在氮化的第二阶段和后续阶段使用解离的氨气时，可以更好地控制白层。氨与吸热气体一样，极易燃烧。但是在这种加热的环境中存在氧气会引起爆。为了大程度地减少引入氨气时发生爆的风险，先清洗炉子并降低氧气含量，通常降至3％至5％以下。吹扫气体通常是氮气。
该过程的这一部分通常由质量流量计控制，以根据部分表面积和炉子罐的体积来确定需要供应多少氮气。一些氮化专家还选择在此时测量熔炉中的氧气水平，作为二参考值。关于过程的一部分通常用得质量流量计控制工采 推荐使用Siargo矽翔 管道式质量流量计 - MF。
Siargo矽翔MF系列管道式质量流量计是专为工业气体进行各种管理和控制而设计。该系列仪表可提供直观的质量流量信息，友好的用户界面设计（RS485/4~20mA/脉冲等）可轻松的进行数据处理。该类产品可适用于管径25～100mm的管道，且精度可达到±(1.5+0.5FS)%，工作环境温度为-20～+60 C，较大工作压力1.5 MPa，同时，我公司的封装技术确保了流量计的卫生指标，可应用于饮料食品行业的气体测量，如：CO 。除此之外，该产品还可广泛应用于其他行业的气体测控，如：冶金行业的特殊气体监控，化工行业的氢气流量监控，生产过程中的氧气、氮气、氦气、氩气、压缩空气等的监控。
MF系列管道式质量流量计技术参数：
精度：±（1.5+0.5FS)%
测量环境：温度（-20~60)℃
显示内容：瞬时流量、累计流量
数据存储：瞬时流量、累计流量,共三千条信息
输出模式：4-20MA；RS485;5V脉冲
校准条件：20℃；101.325KPA
防爆等级：ExdiiBT4
防护等级：ip65
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