硅烷即硅与氢的化合物，溶于水，几乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿和四氯化硅。硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的主要的特种气体, 用于各种微电子薄膜制备, 包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还在向纵深发展: 低温外延、选择外延、异质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等)。在超晶格量子阱材料制备中也有应用。可以说现代几乎所有先进的集成电路的生产线都需用到硅烷。硅烷的纯度对器件性能和成品率关系极大，更高级的器件需要更高纯度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。

硅烷对人体危害：

眼接触：硅烷会刺激眼睛。

硅烷会刺激呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。

皮肤接触：硅烷会刺激皮肤。

它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤，如果严重甚至会致命。如果火焰或高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀启动之前爆炸。如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。处理紧急情况的人员必须要有个人防护设备和适应当时情况的防火保护。不要试图在切断气源之前灭火。

如何检测硅烷，硅烷是一种极毒的气体，有它存在的场合，需要高精度的检测，确保操作人员安全。推荐硅烷检测仪，它采用的是电化学传感器；它里面高精度的硅烷传感器测量范围是：0---20ppm，分辨率是：0.01ppm。这个硅烷传感器和磷化氢PH3检测仪的低量程传感器是同一款，所以如果您实际使用的环境中除了硅烷还有磷化氢的存在的话，那么检测的数值结果是一个综合的数值。