特种气体管道输送系统一般会选择洁净管道。把需要超高洁净度级别的工艺生产线，放在与室内空气环境隔绝的管道中的净化处理方式，叫洁净管道。这种方式要求工艺生产必须是自动化的，高效过滤器必须是以0.1μm尘粒为标准的才能实现超高洁净度。一般有几种抛光等级：
AP：酸洗管
MP: 机械研磨处理或称机械抛光
BA：光亮固溶处理或称光亮退火
EP：电解研磨处理
材料选型:
1. 特种气体和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体不锈钢无缝钢管，内表面应进行洁净和钝化处理。
2. 腐蚀性气体管道，宜采用二次真空电弧熔炼的奥氏体不锈钢或镍基合金材料的无缝钢管，内表面应进行洁净和钝化处理。
3. 用于接触工艺气体（特种气体）的阀门的密封座，不宜使用塑料材质，必须使用时，应尽量减少塑料材质的使用量和表面接触面积，且材质应与气体性质匹配。
4. 双层管的外层管道宜采用SS304AP管或SS304BA不锈钢管道，内层管道应按所输送特种气体的性质匹配。
5. 特种气体系统的排气、尾气真空管道宜采用普通不锈钢管道，并应经过脱脂处理。
6. 氧化性气体系统应采用专用禁油阀门、附件和管材，并应进行脱脂处理。
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