CINNO Research产业资讯，SK海力士利川M16工厂3名工人在检查设备的过程中因毒性物质氟酸泄露受伤。M16工厂是上个月竣工的DRAM生产工厂。
根据韩媒朝鲜日 4月6日 道，当天上午11点34分时，在对京畿道利川市SK海力士 M16工厂5楼的设备进行检查时发生氢氟酸泄漏。在这起事故中，一名（30岁）工人的胳膊和腿被烧伤，一起作业的两名雇员B某（27）等也因吸入氟酸气体转移至附近医院救治。据消息，3名均无生命危险。
氟酸是无色毒性氟化氢溶解在水中的挥发性液体。使用于半导体电路绘制Pattern的蚀刻制程中。
警方认为事故是在设施维护公司对环境分析设备进行试运时发生500毫升氢氟酸泄露。在当天的下午1点40分左右，氢氟酸的浓度被测量为0％。
SK海力士表示故是在检查新的M16工厂设备的过程中发生，对半导体生产没有造成影响。
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