高纯气体系统由专用气体设备（特气柜、VMB等）、气体侦测传感系统、自控及软件系统、气体管阀件等组成；系统的前端连接高纯气体供气装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。
特气柜设备功能设计上——让人心安
特气柜能将高纯气体通过特气管道安全稳定的传输至使用终端设备，同时保证高纯气体不会因吸附气体和水分、脱放气等原因受到污染，保证气体纯度，使气体满足生产工艺的纯度要求。
全自动特气柜（GC）以PLC为控制主体，配合触摸屏进行系统显示和设定可实现自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定 警信号被触发时）等基本功能， 警监测功能齐全，还可根据不同的气体特性和气体使用要求，搭配不同的盘面设计，可以满足不同行业需求，保证工厂正常生产和员工人身安全。
特气柜SEMI S2认证——让人心安
SEMI S2 ??半导体生产装置的环境、健康、安全（Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment）
SEMI S2是针对半导体制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准。符合SEMI S2 不仅符合了国际相关规定，也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。
全自动特气柜（GC）通过SIME S2认证，质量和品质都是值得信赖的，能在保证气体纯度的同时，将易燃易爆、剧毒、腐蚀性等危险性特种气体安全稳定的输送到制程生产中，提高产品良率和保障生产安全。
综上，在高纯气体工艺中超高纯电子特气设备特气柜无论是在功能设计上，还是使用标准上，都是值得信赖的。最后，感谢您的阅读！
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