微小流量量程的气体质量流量计，主要功能是检测气体流量的大小，结合数据采集和编程模块，可以自动在线生成动态数据，并实时保存。根据气体不同性质选用不同的密封材料，可适用于腐蚀性气体。热式气体质量流量计具有结构简单、宽量程比、高可靠性、稳定性好、重复性好、成本可控等优点，现在已经普遍应用在各个行业中氧气、天然气、煤气、汽车尾气、工业废气以及混合气体流量的测量。
热式的气体质量流量计不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量，是真正的直接式质量流量计，可以做到量程从低到高大范围的检测。气体流量计量中新型仪表，不需要进行压力和温度修正是区别于其它气体流量计重要指标，能直接测量气体的质量流量，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。可用于控制一般的腐蚀性气体，正常使用时应保证进出气两端的压差在技术指标范围之内，低于或高于正常工作压差都可导致气体质量流量控制器无法正常使用。
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