特气系统气体管道氦检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。内向检漏法（喷氦法）采用管道内部抽真空，外部喷氦气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。阀座检漏法采用阀门上游充氦气，下游抽真空的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。外向检漏法（吸枪法）应采用管路内部充氦气或氦氮混合气，外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。
检测规定：
氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s；
阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s；
外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行氦检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并进行吹扫。测试完毕后，应提交测试 告。
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