韩国三星电子开始在量产半导体的生产线上使用韩国产氟化氢一事9月4日浮出水面。自日本政府7月加强3种半导体材料的出口管理以后,三星一直在反复测试日本以外的替代品。有分析认为将在一部分量产线上试用,确认是否存在问题。
行业相关人士透露,三星自8月下旬起,开始在一条生产线上使用韩国企业供应的氟化氢。氟化氢被用于晶圆的清洗等,三星将首先在对品质影响较小的工序上采用非日本造氟化氢。
据 道,此次投入量产线的是从中国进口、由韩国企业加工的氟化氢。不过,三星没有透露企业名等详细情况。SK海力士也在评估非日本造产品能否用于量产线。
道称,半导体产品是韩国大宗出口商品,占出口比重约20%,为预防日本切断这些原料供应重创电子产业和国内经济,韩国科技企业已加快脚步改用国内自产的关键零件和材料。韩国上周提出预算案,明年研发预算提高17.3%,增幅破纪录,为的正是强化国内零件与材料产业竞争力。
此外,据韩联社 道,全球第二大显示器面板制造商LG显示器公司已开始采用韩国国产的蚀刻气体,SK海力士也正在测试以国内制品取代日本进口货。
据 道,三星电子9月4日在日本东京举行的2019年“三星晶圆代工论坛”上,向在场日本厂商展示三星的极紫外线(EUV)微影光刻技术,这在记忆体除外的半导体领域堪称最尖端技术。三星电子是韩国唯一具有EUV量产系统的公司。
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