所谓半导体零部件， 半导体零部件是指在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等性能方面达到了半导体设备及技术要求的零部件，如O-Ring密封圈、EFEM (传送模块)、RF Gen射频电源、ESC静电吸盘、Si硅环等结构件、Pump真空泵、MFC气体流量计、精密轴承、ShowerHead气体喷淋头等。半导体设备由成千上万的零部件组成，零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性，也是我国在半导体制造能力上向高端化跃升的关键基础要素。
作为半导体零部件产业中的MFC气体流量计通常具耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。配合LF-SXV-01系列流量显示仪，可对气体的瞬时流量进行精确
控制。
作为半导体零部件产业中的MFC气体流量计应用于半导体制造行业的气体流量控制；分析仪器设备的气体计量与控制；各种形式的真空镀膜设备；
环境检测与分析设备；化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；特种材料表面处理装置与燃烧控制；混气配气系统和泄露探测系统等
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