众所周知,目前数十种检漏方法中,氦质谱检漏仪的灵敏度为较高。这种检漏仪在很多科技领域和生产部门,已经得到广泛的应用。多年来这种检漏仪结构形式大致相同,可称之为"常规型"氦质谱检漏仪。氦逆扩散质谱检漏法在多个检漏领域中得到了实践应用,取得了较好的效果.
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的气体由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
逆扩散原理图
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，诺益科技氦质谱检漏仪可达2000Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下)，适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。
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