据立木信息咨询发布的《中国电子级三氯氧磷市场调查与发展前景 告（2015版）》显示：电子级三氯氧磷(6N、7N)，又称高纯三氯氧磷，主要用于集成电路(IC)生产和晶硅太阳能电池精细加工中PN结制作的掺杂剂，作为五价元素磷(P)扩散源。磷源有多种，气体源主要是磷烷(PH3)，固体源主要是五氧化二磷(P2O5)，液体源主要是三氯氧磷(POCl3)。它的纯度对集成电路(IC)和多晶硅太阳能电池的成品率、电性能等都有着重要的影响，因此对三氯氧磷产品中金属杂质有严格的要求。
电子级三氯氧磷也可以作为光纤加工过程中信号传输性能改进剂，除对金属杂质有严格要求外，对其中有机烃氢也有严格的要求。
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