6寸AlN氮化铝晶圆托盘

半导体市场发展迅速，因此跟上技术发展的步伐是一项挑战。Jundro Ceramics 公司开发出了6寸、8寸、12寸等不同规格的AlN氮化铝陶瓷托盘。高热导率，低膨胀系数，为芯片制造提供有力支撑。

高硬度氧化铝由于其高硬度而具有高耐磨性。由于其高断裂韧性和弯曲强度，它还具有良好的抗断裂和开裂能力。■精密零件和组件

■夹具和固定装置

■耐磨零件，例如喷嘴、泵、阀门和线/线导向器。

■隔热部件

■散热器

■坩埚和坩埚内衬

■电绝缘部件

■高温电绝缘体

■用于反应气体环境的部件，例如气体分配器/喷头和腔内衬

■等离子室的部件

■气缸和活塞耐高温和低热膨胀氧化铝在高达1300℃时具有优异的热稳定性。因为它是一种氧化物陶瓷材料，所以可以在高温氧化气氛中使用。

其低热膨胀系数使其成为需要尺寸稳定性的高温应用的理想选择。高介电强度氧化铝具有优良的介电性能。良好的耐化学性氧化铝具有优异的耐腐蚀性。它可以抵抗大多数气体的攻击，包括酸性气体。它还具有抗等离子体性。良好的可加工性与其他工程陶瓷相比，氧化铝具有良好的机械加工性。因为它一直是一种流行的陶瓷材料，所以我们在加工方面拥有丰富的经验。加工到微米精度是可能的。