为什么半导体车间都会安装废气处理设备，因为半导体制造中使用的气体大多具有可燃性、自燃性、腐蚀性、毒性等特性，还有一些具有高的GWP（全球变暖潜势），尤其是在在晶圆厂制造车间中的废气流通常含有腐蚀性和VOCS有机废气等，必须在释放到大气之前通过VOCs有机废气处理设备去除这些气体。这需要在大多数半导体厂制造车间中使用专门用于管理和处理工艺废气流的设备。因此我们提出安全可靠的脱毒处理废气处理装置（消减装置）以及干式减排设备跟RTO蓄热式焚烧设备，是安全可靠地对这些气体进行净化的设备。
反应方程：Si(OC2H5)4→Si(OC2H5)3OH+C2H4 3H2SiCl2+10NH3→Si3N4+6NH4Cl
废气处理设备选择标准：
(1)废气处理设备的选择是根据待消除气体的种类、浓度、流量和压力，减排设备的处理能力，综合考虑农药的寿命、前后与设备的关系等多种情况，选择合适的处理方法和设备。
(2)混合时可能爆炸、起火或产生有害物质的气体处理应该是一个单独的系统。
(3)可能有自燃性气体或可燃气体流动的排风管道采用不燃材料。
(4)不要让设备规格中规定的气体以外的气体流动，或允许大量气体流动超过废气处理设备的处理能力。
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