诺益讲述:氦质谱检漏仪中分子泵与油泵有什么区别?

现今,越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,最近十几年来,涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。

涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快, 有机蒸汽污染少和极限真空高等特点. 因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统, 即使检漏仪不用液氮冷阱, 质谱室也不致严重沾污, 并能保持较低的本底或杂声. 这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高, 并且延长离子源的使用寿命.

氦质谱检漏仪质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。

诺益氦质谱检漏仪中没有手动阀,现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵,以消除可能造成的油返流。计算机技术也在检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。还可以使用app远程操控检漏仪,并实时监控检漏仪显示漏率。

无论是用于研发的灵活可靠的系统,还是用于常规工业真空加工的热处理系统,或适合在车间中实时检测泄露的快速耐用的便携解决方案,诺益都可提供相应的解决方案。

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