气体质量流量控制器和流量计的技术指标及特点

气体质量流量控制器(流量计)Mass gas flow controller(meter) 缩写为MFC(MFM))是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。

LF系列气体质量流量控制器(流量计)的主要行业指标 :质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。 质量流量单位为: mLn/min(标准毫升/分钟);(SCCM 行业标准) Ln/min (标准升/分钟)。(SLM 行业标准) 标准状态为:温度----273.15K(0℃);气压----101325Pa(760mmHg)F.S(Full Scale):表示满量程值。

莱峰流体LF系列热式气体质量流量控制器(流量计)其特点有:耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量 不因温度、压力的变化而变化。 主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。 适用于各种耐腐蚀性气体。 具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。 可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自 动控制系统配合。 配合LF-SXV系列流量显示仪,可对气体的瞬时流量进行精确 控制。

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