管径的选择是基于气体流量的大小，同时也不能忽略气体的压力值对计算的巨大影响。另外，管道中氧气的流速值要低一些，可选用8m/s。
在芯片厂的设计中，工艺设备的用气量往往会有二个数值，一个是峰值（Peak），一个是均值（Average），而且对不同的设备而言，峰值与均值之间的差异是完全不同的。那么在管径计算中以何种流量作为基准呢？沃飞科技在此给出一些自己的设计经验，以供参考：
首先，芯片厂中工艺设备的运行方式是间歇式的。在某一设备的运行过程中，会有短暂片刻的用气量达到峰值，而后用气量减小，甚至为零，由此类造成峰值和均值之间会存在很大差异，甚至是几何级的差异。
对主管而言，可以将所有工艺设备峰值流量的总和乘上系数（一般为0.7-0.8）,来作为流量值,这样计算得到的管径基本上可以满足供气需求。因为不可能FAB中所有的工艺设备在同一时刻同时达到用气峰值,因此没有必要采用峰值总流量作为计算依据,过大的管径只能是浪费金钱。
对于支管乃至分支管而言，则需要根据实际情况作具体分析。如果某分支管用气点较多，则可以沿用主管的处理方法；如果用气点不多，甚至只有一个，则还是以用气点的总峰值流量来计算较为稳妥。
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