三氟化氮(NF3)作为含氟特种气体的一类,常温下具有化学惰性,高温下则比氧气更活泼、比氟更稳定,且易于处理。
一般来说,三氟化氮主要用作等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂,适用于半导体芯片、平板显示器、光纤、光伏电池等制造领域。和其他含氟电子气体相比,三氟化氮具有反应快、效率高的优点,尤其在对氮化硅等含硅材质的蚀刻中,具有较高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,能够满足加工过程需求。
此外,三氟化氮可用作制备WF6的氟化剂,同时也可在火箭发射中作为氧化剂和推进剂使用。据统计,三氟化氮作为刻蚀剂和清洗剂的占比应用超过70%,而氟化剂、氧化剂、助燃剂的应用占比不足30%。
目前三氟化氮已成为大规模集成电路、平板显示、薄膜太阳能生产制造过程中必不可少的材料。2018年全球三氟化氮市场用量达到2.83万吨,预计到2021年全球三氟化氮市场需求量在4万吨左右。
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