Product Analysis of Sensirion’s Gas Sensor SGP40
盛思锐（Sensirion）气体传感器SGP40
盛思锐气体传感器SGP40的传感（MEMS）部分基于金属氧化物（MOx）纳米颗粒的加热膜。气敏材料——金属氧化物颗粒上吸附的氧气与目标气体发生反应，从而释放出电子。这导致由传感器测量的金属氧化物层的电阻发生改变。简而言之，还原性气体的出现造成气敏材料表面氧浓度降低，改变了半导体的电阻（或电导率）。后续通过电路（ASIC）部分对电阻进行检测、信号处理与转换等。
盛思锐SGP40气体传感器平台将四个传感桥结构集成到一个小型DFN封装中。利用盛思锐CMOSe
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