1、热式质量流量传感器优势：

（１）灵敏度高：热式传感器对温度的变化非常敏感，因此非常易于测量；

（２）功耗低：因为尺寸和感温材料的不断优化，传感器的功耗越来越低；

（３）尺寸小：现在的热式传感器结构因为采用ＭＥＭＳ工艺，一般是厘米或者微米级；

（４）量程大：测量下限很低，可以测量微小流量；

（５）集成度高：结合ＭＥＭＳ工艺可以将芯片、流道和信号处理电路集成到一起；

（６）结构简单：硅基片上结构包装后方便安装在需要的设备上；

（７）成本低：可以结合成熟的集成电路工艺在硅基上批量生产。

2、热式质量流量传感器劣势：

（１）测量气体组分单一：当气体种类改变时，不同气体的导热系数、粘度、比热容都有差别，测量时会带来较大的误差；

（２）要求气体干燥无污染：湿度较大的气体对传感器表面的热量交换有影响，进而影响到输出结果；颗粒物对传感器的输出结果也有影响。