电子特种气体
电子特种气体(简称“电子特气”)是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。电子特气占据晶圆制造成本的13.50%,为晶圆制造中仅次于硅片的第二大材料。晶圆制造主要包括清洗、沉积/CVD、光刻、刻蚀、离子注入、成膜等工艺,从单个芯片生成到最后器件的封装,几乎每一个环节都离不开电子气体,因此电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子特气主要品种多达上百种,被广泛应用于芯片制造过程的各个工艺流程中。
政策和需求双重推动,电子气体行业发展空间巨大!下图将带您一图看懂电子特气。
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