由于大多数活性种的透过力较小，它仅限于对材料表面的反应，对整体材料不会产生影响，但能在短时间内有效地改变其表面特征。表面改性等离子体可分为等离子聚合和等离子处理。这一差异取决于所用的气体种类。这一聚合气体的方法被称为等离子聚合，而不是聚合气称之为等离子。
对非聚合气来说，化学上具有活性或不起作用的成分，将导致反演差异很大。电浆中的惰性气体如He、Ne、Ar，没有化学反应，但是其活性原子能在基体表面产生物理作用，并起到表面的净化和除锈作用。
例如H2、O2、N2等具有活性的气体，在等离子体中可以发生各种化学反应，从而生成官能团。聚合物的聚合反应和腐蚀等现象。通常使用等离子O2来改善表面结合力。在等离子体处理过程中，大部分有机高聚物产生了亲水性的含氧官能团，使其表面能增强，从而改善了表面的结合力。
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