MEMS气体传感器不同于物理类传感器芯片，它涉及化学、材料、自动化、精密仪器、电子、半导体制造、软件与算法等多种学科，制造难度大，工艺流程复杂。
目前，市场上MEMS气体传感器普遍以单晶硅材料为基底，MOS金属氧化物组份为气体敏感材料，当气敏材料暴露于被测气体中，气体会与它们发生作用，引起电导率或电阻率的变化，产生包含气体成分和浓度的电信号，经过信号处理电路处理后，即可识别气体的成分和浓度。
MEMS金属氧化物半导体气敏传感器采用微电子技术的成膜工艺，在硅衬底上淀积金属氧化物敏感层，利用敏感层下的电阻做加热器，利用二极管做测温元件，必要的信号电路和读出电路也可以集成在同一硅芯片上。
MEMS微气体传感器的特点在于将加热电极、绝缘层和测试电极一层一层依次堆积叠加在一起。
技术水平的不断进步，使得市场上对小体积、低功耗、智能化、模块化的气体传感器的需求越来越大，特别是在物联 等泛在应用的推动下，MEMS传感器的应用空间也越来越广阔。
基于MEMS工艺的半导体敏感材料(MOS)气体传感器开始在智能家电、智能家居、移动穿戴、物联 环境监测、楼宇控制以及医疗健康早期筛查等的气体检测领域广泛应用。
一直以来，气体传感器在物联 发展中扮演关键角色，采暖、通风和空调（HVAC）系统、空气净化器、智能窗户、汽车、医疗器械、大气环境监测、石油化工产业等等各种行业都有气体传感器的身影。
MEMS和丝 印刷技术更是为气体传感器的小型化打开了大门，使这些微型化气体传感器能够集成进入智能手机和可穿戴设备等消费电子产品。未来，增加功能密度、提升精度将成为 MEMS 的重要驱动因素，为更多场景带来可感知的价值！
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