南大光电拟定增募资不超6.35亿元，用于光刻胶、三氟化氮等项目

集微 消息，11月6日，南大光电披露2020年度向特定对象发行股票预案，拟向特定对象发行股票的募集资金总额不超过6.35亿元（含本数），扣除发行费用后的净额将用于光刻胶项目、扩建2000吨/年三氟化氮生产装置项目和补充流动资金。

预案显示，作为具有“卡脖子”风险的芯片制造关键原材料，我国高端光刻胶一直为国外所垄断，国内研制成功的公司寥寥无几。2017年起，南大光电先后承担国家“02专项”高分辨率光刻胶与先进封装光刻胶产品关键技术研发、ArF光刻胶产品开发与产业化项目，历经3年艰苦奋斗，公司率先制备出国内首款ArF光刻胶产品，满足产业化的技术条件，具备领先性。

通过募集资金对光刻胶业务的投资建设，公司将达到年产25吨193nm（ArF干式和浸没式）光刻胶产品的生产规模，产品性能满足90nm-14nm集成电路制造的要求，实现高端光刻胶生产的完全国产化和量产零的突破，提升我国高端光刻胶这一领域的自主可控水平。

高纯特种电子气体作为半导体、LED、光伏、航天和国防事业的关键原材料，长期被海外技术封锁。南大光电通过国家“02专项”—高纯电子气体（砷烷、磷烷）研发与产业化项目立项支持，于2016年起形成高纯特种电子气体砷烷、磷烷产业化能力，纯度达到6N级别，成功打破国际巨头的垄断，在半导体产业的关键材料领域实现国产化。自此公司电子特气业务成为公司重要的利润增长点，在市场上具有领先地位。

2019年11月，公司开始布局含氟电子特气业务，完成了对飞源气体的收购。含氟电子特气是电子特种气体的重要品类，是半导体和显示面板制造过程中重要的清洗剂和刻蚀剂。中国厂商是含氟气体生产的重要参与方，南大光电子公司飞源气体是全球三氟化氮和六氟化硫主要生产企业之一。收购飞源气体后，公司增加含氟电子特气业务板块，对南大光电电子特种气体业务的布局与发展具有重要的战略价值。

本次募集资金投资项目“扩建2000吨/年三氟化氮生产装置项目”的实施是保持公司行业领先地位、提升电子特气产品竞争力的重要举措。公司将通过本次募投项目的实施，深化含氟电子特气领域投资布局，参与含氟电子特气全球竞争，保持公司在电子特气领域的领先地位和市场竞争力。