全自动特气柜（GC）是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性特种气体供应而设计的特气设备，通过SEMI S2认证，基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定 警信号被触发时），主要用于安全稳定输送特种气体。
现在我们来认识一下特气柜上的一些主要组成部分：
1. 气动阀气源：一般以GN2来进行控制，不建议使用CDA（clean dry air），因GN2的供应系统比较稳定，不会因停电或运转设备故障而中断，此气源是用于自动或半自动的气动阀件开关。
2. 手动控制阀：主要用于第二道防护作为第二次确认用或检修，一般于供应气体的出口端。
3. 逆止阀(单向阀)：防止特气倒灌到清洁用的PN2（高纯氮）系统和抽气用的GN2（普氮）系统。
4. 调压阀：用于调整供应系统的供应压力。
5. 压力传感器：是防护系统中非常重要的零件，透过它我们可以判断管路是否泄漏，相关阀件是否正常开关，同时亦可检知钢瓶的剩余量。
6. 真空产生器：利用GN2快速流动产生吸力，将管路中的气体抽出，以到达抽气的目的。
7. 气体过滤器：一般在钢瓶出口端会装比较粗的过滤器，在出端会装比较细的过滤器，有效过滤气体中的颗粒，过滤器较不易吹扫,所以一般不建议装在常吹扫的管路中。
8. 过流量侦测器：对管路异常流量进行侦测，若是超过设定值，即判断管路上可能大量泄漏，进而关闭供应系统停止供气。
9.限流孔：是一种简易又有效的过流量控制装置，用以限制大量气体流过，一般使用于出口处，其主要功用是避免大量的特殊气体排出，区域性的废气处理机无法处理的情况发生。
以上，就是关于超高纯电子特气系统中特气柜的主要组成部分的介绍了，感谢您的阅读
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