电子特种气体是大规模集成电路、液晶面板行业生产所需关键原材料,被业界形象地喻为半导体工业的“血液”及“粮食”。2009年以来,中船重工718所特气公司研制出高纯度三氟化氮、六氟化钨等系列特种气体产品,打破了国外垄断,使电子特种气体市场价格大幅下降。此后,718所又先后立项开展了20多种高纯特种气体研发,并成功开发出高纯氘气、三氟甲磺酸、六氟乙烷等新产品,涉及核心关键技术40余项,其中多项技术填补了国内空白。目前,公司三氟化氮、六氟化钨两种气体产能在世界领先,三氟化氮国内市场占有率超过50%,六氟化钨超过60%。今年一季度,两种气体产销量分别同比增长30%和70%以上。
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