中芯国际供货商昊华科技拟2亿元设立全资子公司

集微 消息（ /若冰）7月16日，昊华科技发布公告称，拟以自有资金2亿元设立全资子公司昊华气体有限公司，从事电子化学品的研发、生产和销售，做大做强电子气体业务。

今天有投资者向昊华科技提问，问及公司是否给中芯国际供货时，公司回答表示，公司给中芯国际供货。公司电子特气产品目前已进入中芯国际、长鑫存储、华虹宏力、华润上华、镁光、德州仪器、吉林华微电子等十余家半导体生产企业。

据此前长江商 道，昊华科技另一子公司黎明化工研究设计院有限责任公司(以下简称“黎明院”)生产的“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”子项目通过了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”的现场测试与评审。国家重大专项项目组专项办公室责任专家马振宇教授表示，这标志着极大规模集成电路行业用高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体实现了国产化。据悉，目前相关产品已提交客户使用，市场应用效果良好。

长期以来，我国电子气体产品主要依赖进口，而昊华科技是国内具备高纯度三氟化氮研制能力的领先企业，亦是国内仅有的高纯度六氟化硫研制企业。昊华科技在技术上不断取得突破，多项产品打破国外垄断，逐渐实现了进口替代。