气体传感器是一种将气体成分和浓度转换成电信号的传感器。在现代社会的生产和生活中,它会暴露于各种气体,需要检测和控制。如化学生产中气体成分的检测与控制、煤矿瓦斯浓度的检测与 警、环境污染监测、气体泄漏检测与控制、火灾 警和燃烧情况等。
(1)气体传感器的分类
气体传感器有多种,主要包括气敏传感器、敏感气体传感器和气体成分传感器等。前者主要有半导体气体传感器和固体电解质气体传感器,后者主要有高频分量传感器和光学元件传感器。由于半导体气敏传感器具有灵敏度高、响应速度快、使用寿命长、成本低等优点,因此被广泛应用。本节将重点放在半导体气体传感器。
(2)半导体气体传感器的工作原理
半导体气敏传感器是利用半导体气体传感器与气体接触,从而在半导体性质的变化来检测特定气体的成分或测量其浓度。
半导体气敏传感器大致可分为电阻和非电阻两种类型。电阻式半导体气体传感器是利用半导体气敏材料,如氧化锡(snq2),二氧化锰(MnO2)和其他金属氧化物敏感元件,当他们吸收天然气气体,如氢、一氧化碳、烷基醚、苯和醉,如天然气,将减少反应释放出的热量的元件温度升高,改变电阻。通过使用这种半导体材料的特性,将气体的组合物和浓度转换成电信号,用于监测和 警。
气体传感器电阻的浓度之间的一个典型的关系如图4.42所示。可以看出,不同的气体对不同的气体的灵敏度,如乙醚、乙醚、氢气等具有很高的灵敏度,而甲烷的灵敏度低。在一般情况下,随着气体浓度的增加,元素的阻力在一定范围内明显增加,两者之间的线性关系。
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